超純水加熱設備

• 主要用途?

  1. 清洗硅晶片。 2. 清洗液晶玻璃基板。 3. 可代替其他用氟利昂清洗的溫純水清洗。

  ?加熱單元用的高純度石英組件，內置鹵素燈，外面包裹斷熱材料

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  基本參數?
  ■型號		PWH-24N	PWH-48i	PWH-72i	PWH-96i	PWH-144i
  ■加熱方式		采用近紅外線光的輻射加熱方式
  性能	■加熱器電功率	24kW	48kW	72kW	96kW	144kW
  	■標準流量 （升溫至55℃時）	6L/min	12L/min	18L/min	24L/min	36L/min
  	■最小加熱流量	2L/min	5L/min
  	■設定溫度范圍	25～85℃
  	■溫度控制精度	±1℃　※１
  構成	■流量顯示范圍	0～10L/min	0～50L/min（不是可保證控制精度的范圍）
  	■加熱器	鹵燈，不接觸液體的間接加熱方式
  	■加熱部容器材質	高純度透明石英
  	■接觸液體的設備及配管材質	氟樹脂
  	■安全對應功能	流量異常、過高溫、干燒、漏夜、傳感器斷線、鹵燈斷線等、 檢測出異常時停止輸出信號，顯示報警，并在接點輸出報警信號
  	■外部通信功能	RS-232C/RS-485（可選）但不能同時選擇　※２
  	■外部輸入輸出功能	8-輸入／14-輸出信號（根據產品式樣也會有不同的情況）
  其他	■外形尺寸(mm) ※３	W340×D850 ×H1384	W340×D850 ×H1384	W340×D850 ×H1584	W340×D850 ×H1986	W1050×D700 ×H2004
  	■重量	約90kg	約130kg	約160kg	約210kg	約410kg
  	■電源(50/60Hz) （3相3栓）※4	AC200/208V 共用　69/67A	AC200/208V 共用139/133A	AC200/208V 共用　208/200A	AC200/208V 共用　277/266A	AC200/208V 共用　416/400A

  ※１：據條件而異。　※２：可另外討論。　※３：不包括突起部分?！?：電壓可要求廠家變更或安裝變壓器

KEYWORDS：半導體用超純水加熱設備，PURE WATER　HEATER, KELK, 超純水加熱器