愛銳精密科技（大連）有限公司提供CVD-SIC（碳化硅）表面涂層加工服務。

同時我們還提供TaC（碳化鉭）涂層加工,PG（Pyrolytic Graphite，熱解石墨，熱解碳）涂層加工，GC（Glassy Carbon,玻璃碳）含浸加工等高溫耐氧化涂層加工服務。

● CVD-SIC涂層加工服務介紹：

CVD-SIC涂層具有結構均勻，材質致密，耐高溫、抗氧化、純度高和耐酸堿鹽及有機試劑等特性，物理化學性能穩定。

與高純度石墨材料相比，高純石墨材料在400℃環境下開始發生氧化，長期使也會因氧化而掉粉末，造成周邊器件，真空腔體內的環境污染，增加高純環境的雜質。但SIC涂層可以在1600度環境下保持物理，化學性能穩定，現代工業，特別是半導體工業中得到廣泛應用。最為突出的使用例為LED生產中的MOCVD的晶圓托盤，長期在1200度環境下使用亦可保持穩定性。其它行業也有逐漸取代單純的高純石墨材料的趨勢。
本公司提供的SIC涂層（鍍層）加工服務是以CVD（化學氣相沉積）法在石墨，陶瓷等材料表面，使含碳與硅的特使特種氣體在高溫下發生化學反應，得到高純度SIC分子，分子沉積在被涂材料表面，形成SIC保護層。形成的SIC牢牢巴結在石墨基體上，賦予石墨基體特殊的性能，從而使石墨基座表面致密、無孔隙、耐高溫、抗溶蝕、抗氧化。

CVD-SIC涂層加工圖解

● 主要特點：
1.高溫抗氧化：抗氧化,溫度高達1600℃時抗氧化性能仍然非常好。
2.純度高：高溫氯化條件下化學氣相沉積方法制得的。
3.耐沖刷：硬度高、表面致密、顆粒細。
4.抗腐蝕性：耐酸、堿、鹽及有機試劑。

CVD-SIC涂層形成過和示意圖（原理圖）

● CVD-SIC涂層的主要規格：

● CVD-SIC涂層的產品應用：
單晶硅外延生長用的石墨基座涂層，平板基座、圓形基座、立體基座的涂層。